在真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚*高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜，內部有很多管道和傳動機構，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數百立方米，連接管道和內部管道的總長度可達幾公里，焊縫、密封圈的總長度可達數十公里，必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏，以下就對真空泵的加工過程應考慮哪些檢漏問題？

　　加工過程中應考慮的檢漏問題：

　　1、焊接件的檢漏：

　　真空設備零、部件的焊縫是否需要進行檢漏，應根據焊接質量和設備所允許的大漏率來確定。

　　焊縫的檢漏是在零、部件的加工過程中進行，還是在總裝以后進行，需視具體情況而定。例如，在總裝后對冷阱內膽的焊縫進行檢漏時，由于裝配后焊縫不能暴露在外面，即使發現了漏孔也無法進行補焊。又如某些大容器在總裝后的容積過大，使檢漏靈敏度降得很低，檢不出小漏孔，從而達不到檢漏的要求?？紤]到類似于這樣的情況，應在零、部件的加工過程中就對焊縫進行檢漏。

　　已檢漏了的零件在對焊縫進行切削加工后，還需要次進行檢漏。補焊后的焊縫也需要重新檢漏。

　　

　　2、其它加工件的檢漏：

　　對金屬板材一般不需檢漏，但對表面和內部有缺陷(夾渣、氣孔、裂紋)的金屬材料，則必須進行檢漏。

　　機械加工后的工件一般也不需要檢漏。但薄壁管材經彎曲后可能出現裂紋，因此需要對彎曲部位進行檢漏。

　　

　　3、安裝調試階段應考慮的檢翻問題：

　　a、經過檢漏的零、部件如受到較大的機械沖擊或振動，需在總裝前再次進行檢漏。

　　b、根據安裝順序按步驟進行檢漏。在每裝好一個部件后，便對該部件和連接處進行檢漏，檢漏合格后再安裝下一個部件。

　　c、在安裝中，對經過再次加工過的某些零、部件要重新檢漏。例如有些管道，在裝配時受了較大的拉應力，或者重新彎曲過，都會造成焊縫和原材料的拉裂，必須重新檢漏。

　　d、安裝后首先對密封圈、轉動密封處進行檢漏，其次再做總體靜態升壓試驗，測量其總漏率是否滿足要求。

　　e、對于需進行烘烤或加冷卻劑的部件，必須經過冷、熱沖擊試驗后再進行檢漏。例如，冷阱、冷卻障板等部件，在烘烤除氣后，應立即注人冷卻劑，然后測量其漏率。在這些過程中，漏孔不一定是在冷態或熱態出現，應予以注意。

　　

　　4、運行及維修時的檢漏：

　　一臺真空設備在投人使用后，還可能出現漏孔。因此，真空設備在使用中要有詳細的運轉記錄，以便查找漏氣的原因。

　　a、真空設備在使用中，有時需打開某些法蘭進行清洗或放置實驗件等。重裝后，若發現漏氣就需對密封處進行檢漏。

　　b、對更換的部件要進行檢漏。

　　c、經過運轉的真空設備，如果發現真空度變壞，應考慮是否是由漏氣造成的，這可用靜態升壓試驗來判斷。